东方晶源电子束缺陷检测设备EBI 斩获第五届“IC创新奖”
7月9日,由其他其他国家集成电路创新火箭队 主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方向交流会”以六大会场加网路连线的多种途径同步开幕。视觉联盟集成电路全产业链各环节的优秀其他企业、高校和科研院所的千余位代表意义 参会,东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海钱先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业传统技术 创新奖(简称“I科技手札c创新奖”),东方晶源凭借电子束缺陷检测设备(EBI),交出 传统技术 创新奖。
“IC创新奖”由其他其他国家集成电路创新火箭队 主办,面向国内市场集成电路产业链上下游企事业单位管理 征集,重点鼓励集成电路传统技术 创新、成果产业化、产业链上下游首次合作,是集成电路产业最组成部分的传统技术 奖项成了,另有传统技术 创新奖项旨在表彰在集成电路重大传统技术 创新和组成部分传统技术 开发传统技术 方面成绩重大突破的单位管理 和团队成员。这一次摘得新兴行业 重磅赛事的组成部分奖项,仍在彰显出东方晶源在电子束检测、量测细分领域的传统技术 综合实力和新兴行业 的总体高度认可。
检测是芯片制造厂商大幅标准水平良率的组成部分手段。电子束检测设备它具超高精度,在高端芯片制造过程所发挥的起着越来大。由科技手札于目前,该类设备被国内市场厂商垄断,成了制约发达国家芯片制造自主可控的组成部分瓶颈。东方晶源数年磨剑,成功后研收到国内市场首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505,可应用应用提供的纳米级缺陷检测和及分析彻底解决方案。由于由于目前使用发达国家头部芯片制造厂商产线验证,验证最后表明主要主要原因指标与国内市场一线对标机台以上全部同等标准水平,成功后彻底解决发达国家在电子束检测细分领域的组成部分传统技术 彻底解决。
东方晶源在电子束检测、量测细分领域已深耕多年并成功后最最新推出多款设备,成绩重大突破。除这一次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外,旗下首台12英寸组成部分尺寸量测设备CD-SEM(型号:SEpA-c410)于十月份 6月可进入 产线验证,由于目前快速完成成熟制程量产验证,图像质量清晰,与POR 的CD差异完全各种需求 其要求,性能仍在改良中;首台8英寸CD-SEM(型号:SEpA-c300)于十月份 3月可进入 产线验证,由于目前还没有可进入 老客户产线小规模试产。另有,东方晶源还于近两天正式发布了电子束缺陷复检设备(DR-SEM),由于目前该设备工程机(Alpha机)还没有使用首科技手札轮wafer demo,也能完全各种需求 28nm及以上全部也制程完全各种需求 ,Beta机集成工作任务加速推进中,已成绩老客户订单,可进入 产线验证指日可待。
成了第二家聚焦集成电路良率管理细分领域,以大幅标准水平芯片制造门槛为使命的半导体其他企业,东方晶源由于目前 以研发创新为发展方向核心,持续的的丰富产品会矩阵并大幅标准水平产品会性能,填补多项国内市场空白。今后,东方晶源将仍在立足一体化使用软件品台和检测装备两大细分领域,以老客户为中心一,以整体市场为导向,持续的的使用传统技术 突破与产品会创新,与发达国家集成电路产业上下游其他企业勠力同心,推动发达国家集成电路制造产业仍在高速发展方向。